晶瑞電材:三大高純溼化學品即將貢獻營收,ArF光刻膠研發“猛砸”4個億


中國半導體材料市場一直穩步成長,已在2020年成為全球第二大半導體材料市場,SEMI(國際半導體產業協會)預計,中國將在2021年維持這一市場地位。

SEMI資料顯示,2019年中國半導體材料市場增長為3.4%至87.2億美元,2020年增長12%至97.6億美元,市場規模創歷史新高。

具體來看,半導體材料主要分為晶圓製造材料和封裝材料兩大類,晶圓製造材料主要分為矽片及矽基材料、光掩模版、電子氣體、光刻膠及試劑、CMP拋光材料、工藝化學品、靶材及其他。

SEMI最新報告顯示,2020年,晶圓製造材料市場規模為349億美元,較2019年增長6.5%,約佔半導體材料整體規模的63%,其中光刻膠及試劑、工藝化學品和CMP拋光材料增長最為強勁。


Cision預測,2022年全球光刻膠市場規模有望達到105億美元,年均複合增速5%。10月19日,第一財經國內光刻膠龍頭企業晶瑞電材,就公司光刻膠等電子材料業務的發展規劃等內容進行對話。

光刻膠:放量才是關鍵

晶瑞電材主導產品包括光刻膠及配套材料、超淨高純試劑、鋰電池材料和基礎化工材料等,廣泛應用於半導體、新能源、基礎化工等行業,主要應用到下游電子產品生產過程的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜、漿料製備等工藝環節。

分行業看,2021年上半年,晶瑞電材在半導體行業、新能源行業和基礎化工行業的營收佔比分別為35.11%、35.28%、19.68%,毛利率水平分別為24.80%、14.75%、19.99%。其中新能源行業和基礎化工行業的營收同比大幅增長,漲幅分別達到133.99%和174.51%。


晶瑞電材在新能源行業的主要產品為鋰電池材料。晶瑞電材董祕陳萬鵬在接受第一財經採訪時表示,“半導體行業的營收放量、市場份額的提升正在發生確定性的上漲,同時這是一個逐步從產品種類、數量再細化到客戶每一條晶片產線的積累的過程,而新能源汽車的需求爆發驚人,所以預計未來新能源行業的營收增長仍將快於半導體行業。但我們發展的重心和投入還是在半導體上。”

半導體方面,晶瑞電材主要產品包括光刻膠及配套材料、超淨高純試劑。其中,光刻膠產品由晶瑞電材的子公司蘇州瑞紅生產。

蘇州瑞紅1993年開始光刻膠生產,承擔並完成了國家02專項“i線光刻膠產品開發及產業化”專案。公司i線光刻膠已向國內知名大尺寸半導體廠商供貨,KrF(248nm深紫外)光刻膠完成中試,產品解析度達到了0.25~0.13 m的技術要求,建成了中試示範線。

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“KrF光刻膠目前正在客戶驗證階段。我們已經在規劃KrF光刻膠產線了,受現有場地限制,計劃把我們原來的一個倉庫直接改建成生產線,預計還將新添一臺光刻機。”陳萬鵬對第一財經透露。

陳萬鵬解釋稱,光刻機不僅用在研發過程中,在生產過程中也會用到光刻機,光刻膠出廠前必須100%全檢,以滿足IC製造的高標準要求,所以KrF光刻膠也需要配備一臺光刻機。“預計今年或明年上半年KrF光刻膠能夠出貨。”

晶瑞電材2020年年報顯示,公司於2020年下半年購買ASML1900Gi型光刻機裝置,ArF高階光刻膠研發工作正式啟動,旨在研發滿足90-28nm晶片製程的ArF(193nm)光刻膠,滿足當前積體電路產業關鍵材料市場需求。

“ArF光刻膠今年的主要任務一方面是在研發上,開發單體及樹脂等上游材料、反向分析等工作,另一方面,硬體上的目標是我們的光刻實驗室達到使用狀態。”陳萬鵬表示。

在面板用光刻膠方面,晶瑞電材與日本三菱化學株式會社在蘇州設立了LCD用彩色光刻膠共同研究所,為三菱化學的彩色光刻膠在國內的檢測以及中國國內客戶評定檢測服務,並於2019年開始批量生產供應顯示面板廠家。

光刻膠客戶驗證週期一般在6~24個月,但在陳萬鵬看來,產品配方通過客戶效能驗證只代表光刻膠能夠做出圖形,這只是萬里長征第一步;第二步是要具備放量能力,通過小試、中試,甚至需要十幾個批次都保持穩定、一致,這時候才可能拿到訂單。“形成銷售收入才是能否生產光刻膠的硬指標。”陳萬鵬表示,目前市場上只有晶瑞電材和彤程新材持股公司北京科華在半導體光刻膠領域實現了規模化銷售收入。

2021年上半年,彤程新材電子化學品業務實現營收0.51億元,北京科華營收同比增長46.74%;晶瑞電材光刻膠及配套材料實現營收1.43億元,同比增長82.15%。

訂單方面,據陳萬鵬透露,2020年晶瑞電材光刻膠及配套材料訂單在1.8億元左右,今年上半年就已經達到1.5億元左右,預計今年能夠實現翻倍增長。

晶瑞電材董事長吳天舒對第一財經表示,“我們光刻膠產能非常緊,正在積極組織擴產階段。”

光刻膠按顯示的效果,可分為正性光刻膠和負性光刻膠。晶瑞電材公告顯示,公司擬建年產1200噸積體電路關鍵電子材料專案,專案建設內容為光刻膠中間體1000噸/年,負性光刻膠1200噸/年。投資建設週期為自開工建設起1年。“該專案預計明年7~8月投產。這也是整個晶瑞盈利能力最強的單品。”陳萬鵬透露。

超高純化學品處於全球第一梯隊

陳萬鵬對第一財經直言,光刻膠經過市場炒作高頻率傳播,大家對此耳熟能詳,實際上高純試劑也是非常重要的半導體材料,缺哪一樣都會被“卡脖子”。

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超淨高純試劑主要用於半導體等電子資訊產品的清洗、蝕刻等工藝環節。不同線寬的積體電路製程工藝中必須使用不同規格的超淨高純試劑進行蝕刻和清洗,且超淨高純試劑的純度和潔淨度對積體電路的成品率、電效能及可靠性均有十分重要的影響。

2021年半年報顯示,晶瑞電材在半導體材料方面佈局的高純雙氧水、高純氨水及高純硫酸等產品品質已達到或者可達到SEMI最高等級G5水準,金屬雜質含量均低於10ppt,半導體用量最大的三個高純溼化學品將整體達到國際先進水平,可基本解決高純化學品這一大類晶片製造材料的本地化供應。已投產主導產品獲得中芯國際、華虹巨集力、長江儲存、合肥長鑫、士蘭微等國內知名半導體客戶的採購。公司其他多種超淨高純試劑如BOE、硝酸、鹽酸、氫氟酸等產品品質全面達到G3、G4等級,可滿足平板顯示、LED、光伏太陽能等行業客戶需求。

超淨高純雙氧水是提純技術難度最大的微電子化學品之一,是積體電路晶片製造領域用量最大、市場前景良好的“綠色化學品”,高階提純技術歷來被巴斯夫等國際大公司所壟斷。晶瑞電材自2001年開始高階雙氧水的研發和生產,自主開發了先進的提純技術,並獲得了發明專利。超大規模積體電路用超淨高純雙氧水技術突破了國外技術壟斷,產品品質可達到10ppt以下,滿足SEMI制定的最高純度等級,成功填補了國內空白。

硫酸方面,晶瑞電材年產30萬噸高品質工業硫酸,副產三氧化硫、蒸汽等副產品,上述產品為能源及基礎化工材料。隨著公司年產9萬噸超大規模積體電路用半導體級高純硫酸技改專案的實施,部分硫酸產能將由基礎化工行業類別轉化為超淨高純試劑行業類別。

“全國高純雙氧水、硫酸、氨水這三個佔據整個IC製造70%耗能的高純溼化學品,晶瑞已經實現全部覆蓋。”陳萬鵬表示,“去年雙氧水只賣了一萬多噸,硫酸甚至為0,氨水一共就4000噸的產能,賣得也很有限,但這些從今年開始能夠開始陸續貢獻營收了。”

陳萬鵬給第一財經算了一筆賬,“雙氧水今年滿產;硫酸馬上再下6萬噸,明年開始9萬噸達產,至少得多賣個兩三萬噸,後年預計賣出6萬~7萬噸,按照9萬噸硫酸產銷率80%算,也有兩億元左右的淨利潤。”

客戶方面,目前晶瑞電材基本覆蓋主流客戶,電子硫酸已經在多家主流客戶端進行跨線,其中包括不少臺系晶片廠。

10月24日晚,晶瑞電材釋出2021年三季報,2021年前三季度,公司實現營業收入13.09億元,同比增長83.31%;歸屬於上市公司股東的淨利潤1.65億元,同比增長167.80%。主要原因是光刻膠等材料產銷兩旺。

“半導體材料和新能源材料全在漲價。光刻膠漲價幅度約20%-50%,為應對四季度產線大修,我們對7-9月份光刻膠的出貨量進行了調控,影響了產能,光刻膠銷售收入環比增幅有所下降,但仍不改同比大幅增長的向好趨勢。”

陳萬鵬預計產銷兩旺的市場格局還能持續三年。“一方面,IC新建產能逐步釋放,將帶動半導體材料需求增長,另一方面,目前光刻膠國產替代率不足10%,未來還有廣闊的國產替代空間。”

研發方面,晶瑞電材2020年研發費用佔營收3.31%,2021年半年報這一數字為2.26%,與同行相比偏低。陳萬鵬解釋稱,“首先,晶瑞很多年前就開始做光刻膠了,現在的技術都是以前多年研發投入積累下來的;其次,我們接下來要做的ArF光刻膠單就研發階段就準備投入4個億,三年做完,這一個專案一年也有一個多億的研發投入。相信很快,大家會看到這方面顯著的變化。”

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